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          平臺公司2016年通過中國合格評定國家認可委員會認證,并經教育部成果鑒定,具有國際先進水平。研究院成立了以丁衡高、尤政院士為首的專家委員會,聘請楊振川、周斌等20余位MEMS領域知名專家組成“項目專家組”,為平臺MEMS器件創新設計、項目研發、中試代工等提供技術指導,現已累計開發完成MEMS單項工藝百余項、產品工藝30余套,硅微機械陀螺、加速度計、繼電器等20余個產品實現通線量產,成為國內技術團隊、研發水平均處領先地位的中試代工平臺。目前主要以6英寸體硅工藝為主,可實現多種工藝的加工服務:


          光刻:接近式光刻(可雙面),最小線寬1um
          ● 薄膜制備:氧化、擴散、LPCVD、TEOS、PECVD、摻雜注入
          金屬制備:E-beam、磁控濺射、電鍍
          濕法腐蝕:KOH、BOE/HF、TMAH、金屬腐蝕
          ● 干法刻蝕:ICP、RIE、DRIE(SPTS Rapier深寬高于35:1)、氣相XeF2、O2 Plasma
          ● 鍵合:硅-硅、硅-玻璃、玻璃-硅-玻璃、金屬共晶等多種鍵合
          封裝測試:劃片、引線鍵合、半導體分析、應力分析


          聯系人:王經理
          聯系電話:15254455701
          郵箱:wangwenhao@zbmems.com


          中試代工客戶聯絡單


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